潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，

應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。

例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。

直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。24um線性膨脹，所以應該有0。1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，

是怕鈉的半導體車間因為人出汗以后，對產品將有污染，

不銹鋼風淋室特別特別是怕鈉的半導體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產生的問題更多。

相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在*密裝置或電路中，就會引起各種事故。

風淋室標準功能配置及產品特，相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子?